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　　鍍膜設(shè)備的使用步驟之電控柜操作：
　　1. 開水泵、氣源。
　　2. 開總電源。
　　3. 開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。
　　4. 開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。
　　5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開前機和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源。