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　　1、卷繞系統(tǒng)
　　真空鍍膜設(shè)備的卷繞系統(tǒng)主要由直流電機(jī)傳動(dòng)的放卷輥、收卷輥、鍍膜鼓、導(dǎo)向輥、張力測(cè)量（控制）輥、展平輥以及電阻測(cè)試輥等部件組成，它的作用是按照速度和張力將基材薄膜輸送到鍍膜區(qū)進(jìn)行鍍制后，再將已鍍膜的基材薄膜收卷成筒狀卷膜。通過(guò)控制薄膜卷繞的速度、張力以及展平輥的角度等工藝參數(shù)，可以避免產(chǎn)生皺紋而得到收卷整齊的膜卷。
　　2、速度控制和張力控制
　　速度控制：帶狀基體的線速度恒定是保持膜厚均勻的重要條件。卷繞系統(tǒng)帶材的速度控制多數(shù)采用以電流控制為主的速度恒定控制，速度都可以根據(jù)產(chǎn)品的要求，事先設(shè)定、自動(dòng)調(diào)節(jié)。
　　張力控制：薄膜張力控制在卷繞真空鍍膜設(shè)備中是一個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題。張力控制同膜的跑偏、暴筋、起皺等現(xiàn)象均有關(guān)系。
　　3、蒸發(fā)系統(tǒng)由蒸發(fā)源夾座（電極）、蒸發(fā)源、送絲機(jī)構(gòu)等組成。
　　4、PVD鍍膜設(shè)備真空室開(kāi)啟機(jī)構(gòu)：大型雙室半連續(xù)蒸發(fā)鍍膜機(jī)的開(kāi)啟機(jī)構(gòu)一般由真空室體，卷繞機(jī)構(gòu)，密封大板，動(dòng)力柜，行程開(kāi)關(guān)和小車組成。根據(jù)鍍膜基本材料的幅寬，確定單門還是雙門開(kāi)啟。常見(jiàn)的真空室多是單門開(kāi)啟，蒸發(fā)器仍在鍍膜室內(nèi)。
　　5、屏蔽組件：就是要在膜上屏蔽出未鍍膜的條紋或網(wǎng)紋，這是電容器膜的要求，普通電容器的屏蔽第紋是沿著基膜的縱向延伸的，安全電容器膜的屏蔽條紋是網(wǎng)紋。
　　6、真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)：一般卷繞真空鍍膜設(shè)備的卷繞室和鍍膜室各有一套真空泵組。通常，國(guó)內(nèi)外的設(shè)備所采用的真空抽氣系統(tǒng)的蒸鍍室主泵為測(cè)報(bào)擴(kuò)散泵，卷繞室主泵為大抽速的油擴(kuò)散噴射泵。