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真空鍍膜機(jī)成膜不均的因素有哪些

       隨著鍍膜技術(shù)的發(fā)展,各類真空鍍膜機(jī)也逐漸出現(xiàn),不管是哪種真空鍍膜機(jī),薄膜的均勻性都會(huì)受到一些因素的影響?,F(xiàn)在,我們就以磁濺射真空鍍膜機(jī)來分析成膜不均勻的因素。
       鍍膜機(jī)抽氣不均會(huì)影響鍍膜均勻性?;蓛艉苤匾?。真空鍍膜前要將基片表面認(rèn)真清潔干凈,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?;灞砻嫖廴緩牧慵诩庸?,運(yùn)輸?shù)冗^程中附著的各種各樣的灰塵、油脂、拋光膏、汗?jié)n等,在潮濕環(huán)境下,基片表面易氧化,形成氧化膜吸附氣體。對(duì)于這些污物,都能用去油或化學(xué)方法清洗干凈。干凈的基片不要直接放在外面,需要用封閉容器存放,減少沾污。鍍膜室內(nèi)也是會(huì)積灰的,所以要清洗鍍膜室內(nèi),烘烤除氣,并將機(jī)器放置在干凈的環(huán)境里。注意擴(kuò)散泵返油。鍍膜的原材料有很多,如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等,輔料、配方的比列有所不同,薄膜也不同。
       以上就是真空鍍膜機(jī)成膜不均勻的因素。
2021/08/18 16:16:19 2644 次

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